四級三葉直排大氣式羅茨真空泵設(shè)計
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The design of the multilevel Roots pump
Abstract
Roots pump, a kind of oil-free volume vacuum pump, has been widely applied by many microelectronic branches all over the world because of its simple structure, low noise, high reliability, good pumping performance and so on. Although some manufacturers have been researched on this pump in our country, there is no one having the ability to produce the pump. To meet our country’s development and manufacture of this thesis has made some deep research on its meshing mechanism and cooling system.
First, the author discusses the meshing theory of Roots pump. After analyzing the meshing condition on the base of basic meshing requirement, a formula is deduced which can calculate the vacume degree, meanwhile, a procedure programmed by Turbo C is carried out to verify its vacume degree in numerical method. After discussion on the meshing condition of Roots pump,and some important conclusions are obtained.
Furthermore, the author works over the detailed design of the cooling system with the Roots pump. During the study the author carefully analyzes, discusses the cooling system, expatiate the design and the effect of the cooling system, besides ,calculated the dosage of the cooling water.
Key Words: Roots pump,vacuum degree,cooling system
多級羅茨泵設(shè)計
摘 要
多級羅茨泵是一種容積式無油真空泵，具有結(jié)構(gòu)簡單、振動噪音小、可靠性高、抽氣特性好等優(yōu)越性能，由于這個原因，國內(nèi)外許多微電子工業(yè)部門廣泛地采用這種真空泵。在我國盡管有些單位在研究這種真空泵，但還是沒有產(chǎn)品，仍然是空白。為了滿足我國開發(fā)研究生產(chǎn)這種泵的需要，本文對羅茨真空泵的嚙合理論和冷卻系統(tǒng)進(jìn)行了深入的研究與探討。
本文首先詳細(xì)分析了羅茨泵的嚙合理論，并在此基礎(chǔ)上推倒出了計算泵極限真空度的公式，用Turbo C編程驗(yàn)證了其正確性。 在推倒泵極限壓力的同時，還計算除了各級泵的壓縮比，并最終求得泵的零流量壓縮比。在研究其嚙合理論之后得到了很多重要的結(jié)論。
另外，還進(jìn)一步詳細(xì)研究了羅茨泵水冷系統(tǒng)的設(shè)計。在水冷系統(tǒng)的研究中，詳細(xì)闡述了水冷系統(tǒng)的作用及具體設(shè)計，分析水冷系統(tǒng)的作用，根據(jù)泵的冷卻要求最終算出了冷卻水的耗量。
關(guān)鍵詞：羅茨泵，極限真空度，冷卻系統(tǒng)
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四級三葉直排
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真空泵
設(shè)計
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