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1、傳感器技術(shù)霍爾式傳感器1霍爾傳感器是利用半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)進(jìn)行測量的一種磁霍爾傳感器是利用半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)進(jìn)行測量的一種磁敏式傳感器,一般由鍺、硅、銻化銦、砷化銦等半導(dǎo)體材料敏式傳感器,一般由鍺、硅、銻化銦、砷化銦等半導(dǎo)體材料制成。制成。它可以直接測量磁場及微位移量,已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電磁、壓它可以直接測量磁場及微位移量,已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電磁、壓力、加速度、振動等的測量領(lǐng)域。力、加速度、振動等的測量領(lǐng)域。目前霍爾傳感器已從分立元件發(fā)展到了集成電路的階段,正目前霍爾傳感器已從分立元件發(fā)展到了集成電路的階段,正越來越受到人們的重視,應(yīng)用日益廣泛。越來越受到人們的重視,應(yīng)用日益廣泛。傳感器技術(shù)霍爾式
2、傳感器2在與磁場垂直的在與磁場垂直的N型半導(dǎo)體薄片上通以電流型半導(dǎo)體薄片上通以電流I,由于,由于N型半導(dǎo)體的載流子為電型半導(dǎo)體的載流子為電子,因此電子將沿與電流相反的方向運(yùn)動。由于洛侖磁力的作用,電子發(fā)生子,因此電子將沿與電流相反的方向運(yùn)動。由于洛侖磁力的作用,電子發(fā)生偏轉(zhuǎn),一側(cè)形成電子累積,另一側(cè)形成正電荷累積,于是元件的橫向便形成偏轉(zhuǎn),一側(cè)形成電子累積,另一側(cè)形成正電荷累積,于是元件的橫向便形成了電場。該電場阻止電子繼續(xù)向側(cè)面偏移,了電場。該電場阻止電子繼續(xù)向側(cè)面偏移,當(dāng)電子所受電場力當(dāng)電子所受電場力 與洛侖茲與洛侖茲力力 相等時,電子的累積達(dá)到動態(tài)平衡。這時在兩端橫面之間建立的電場稱相等
3、時,電子的累積達(dá)到動態(tài)平衡。這時在兩端橫面之間建立的電場稱為霍爾電場為霍爾電場 ,相應(yīng)的電勢稱為霍爾電勢,相應(yīng)的電勢稱為霍爾電勢 EfLfHEHUN型半導(dǎo)體薄片型半導(dǎo)體薄片0Lfq vB00HEHUfq Eqbh為霍爾片的靈敏度系數(shù)為霍爾片的靈敏度系數(shù)HKHHUK IB經(jīng)過分析:經(jīng)過分析:傳感器技術(shù)霍爾式傳感器3根據(jù)霍爾輸出與控制電流和磁感應(yīng)強(qiáng)度的乘積成正比的關(guān)系根據(jù)霍爾輸出與控制電流和磁感應(yīng)強(qiáng)度的乘積成正比的關(guān)系可知,霍爾元件主要用在下述三個方面:可知,霍爾元件主要用在下述三個方面:1)保持元件的控制電流恒定,則元件的輸出正比于磁感應(yīng)強(qiáng)度。)保持元件的控制電流恒定,則元件的輸出正比于磁感應(yīng)強(qiáng)
4、度。因此,可以測定恒定和交變磁感應(yīng)強(qiáng)度,如高斯計(jì);同時凡是能轉(zhuǎn)因此,可以測定恒定和交變磁感應(yīng)強(qiáng)度,如高斯計(jì);同時凡是能轉(zhuǎn)化為磁感應(yīng)強(qiáng)度變化的量都能進(jìn)行測量,如位移、角度、轉(zhuǎn)速和加化為磁感應(yīng)強(qiáng)度變化的量都能進(jìn)行測量,如位移、角度、轉(zhuǎn)速和加速度等。速度等。2)保持元件感受的磁感應(yīng)強(qiáng)度不變時,則元件的輸出正比于控制電)保持元件感受的磁感應(yīng)強(qiáng)度不變時,則元件的輸出正比于控制電流。因此,主要的應(yīng)用有交、直流的電流表、電壓表等;同時凡能流。因此,主要的應(yīng)用有交、直流的電流表、電壓表等;同時凡能轉(zhuǎn)換為電流變化的量,均能進(jìn)行測量。轉(zhuǎn)換為電流變化的量,均能進(jìn)行測量。3)當(dāng)元件的控制電流和磁感應(yīng)強(qiáng)度均變化時,元件
5、輸出與兩者乘積)當(dāng)元件的控制電流和磁感應(yīng)強(qiáng)度均變化時,元件輸出與兩者乘積成正比。因此,它可用于乘法、功率等的測量,如乘法計(jì)、功率計(jì)成正比。因此,它可用于乘法、功率等的測量,如乘法計(jì)、功率計(jì)等。等。HHUBK I傳感器技術(shù)霍爾式傳感器4霍爾元件的組成:由霍爾片、四根引線和殼體組成,如下圖示。霍爾元件的組成:由霍爾片、四根引線和殼體組成,如下圖示?;魻栐且换魻栐且环N四端元件種四端元件型號命名方法:型號命名方法:傳感器技術(shù)霍爾式傳感器5霍爾片是一塊矩形半導(dǎo)體薄片?;魻柶且粔K矩形半導(dǎo)體薄片??刂齐娏鞫艘€控制電流端引線(激勵電極)(激勵電極)霍爾電勢輸出端引線霍爾電勢輸出端引線(霍爾電極)(
6、霍爾電極)基本電路形式基本電路形式HHUK IB傳感器技術(shù)霍爾式傳感器6 霍爾元件及霍爾傳感器的應(yīng)用十分廣泛。在測量領(lǐng)域,可霍爾元件及霍爾傳感器的應(yīng)用十分廣泛。在測量領(lǐng)域,可用于測量磁場、電流、位移、壓力、振動、轉(zhuǎn)速等;在通信領(lǐng)用于測量磁場、電流、位移、壓力、振動、轉(zhuǎn)速等;在通信領(lǐng)域,可用于放大器、振蕩器、相敏檢波、混頻、分頻以及微波域,可用于放大器、振蕩器、相敏檢波、混頻、分頻以及微波功率測量等;在自動化技術(shù)領(lǐng)域,可用于無刷直流電機(jī)、速度功率測量等;在自動化技術(shù)領(lǐng)域,可用于無刷直流電機(jī)、速度傳感、位置傳感、自動記數(shù)、接近開關(guān)、霍爾自整角機(jī)構(gòu)成的傳感、位置傳感、自動記數(shù)、接近開關(guān)、霍爾自整角機(jī)
7、構(gòu)成的伺服系統(tǒng)和自動電力拖動系統(tǒng)等。伺服系統(tǒng)和自動電力拖動系統(tǒng)等。 傳感器技術(shù)霍爾式傳感器7(1)簡易高斯計(jì))簡易高斯計(jì) 霍爾元件及傳感器廣泛用于磁場測量。圖為一個簡易高斯計(jì)電路,它直霍爾元件及傳感器廣泛用于磁場測量。圖為一個簡易高斯計(jì)電路,它直接采用線性型霍爾傳感器接采用線性型霍爾傳感器 UGN-3501M。 傳感器技術(shù)霍爾式傳感器8(2)計(jì)數(shù)裝置)計(jì)數(shù)裝置 下圖是一個應(yīng)用霍爾傳感器對鋼球進(jìn)行計(jì)數(shù)的裝置及電路。下圖是一個應(yīng)用霍爾傳感器對鋼球進(jìn)行計(jì)數(shù)的裝置及電路。 傳感器技術(shù)霍爾式傳感器9(3)霍爾接近開關(guān))霍爾接近開關(guān) 利用開關(guān)型霍爾集成電路制作的接近開關(guān)具有結(jié)構(gòu)簡單、抗干擾能力強(qiáng)利用開關(guān)型
8、霍爾集成電路制作的接近開關(guān)具有結(jié)構(gòu)簡單、抗干擾能力強(qiáng)的特點(diǎn),如圖所示。的特點(diǎn),如圖所示。 傳感器技術(shù)霍爾式傳感器10(4)霍爾轉(zhuǎn)速表)霍爾轉(zhuǎn)速表 霍爾轉(zhuǎn)速表如圖霍爾轉(zhuǎn)速表如圖 所示。所示。 傳感器技術(shù)霍爾式傳感器11(5)角位移測量儀)角位移測量儀 角位移測量儀其結(jié)構(gòu)如圖所示。角位移測量儀其結(jié)構(gòu)如圖所示。 傳感器技術(shù)霍爾式傳感器12(6)功率計(jì))功率計(jì) 因?yàn)榇艌鲆驗(yàn)榇艌鯞IL,而負(fù)載電壓,而負(fù)載電壓VL用以產(chǎn)生樣品電流用以產(chǎn)生樣品電流I=VL/RVL(這里(這里R是比是比樣品和樣品和RL大得多的串聯(lián)電阻),則大得多的串聯(lián)電阻),則Hall電壓電壓VHIBVL IL。所以,測量出。所以,測量出Hall電壓電壓VH,即可直接得知負(fù)載,即可直接得知負(fù)載RL所消耗的功率所消耗的功率VLIL。傳感器技術(shù)霍爾式傳感器13作作 業(yè)業(yè) 有一霍爾元件,其靈敏度為有一霍爾元件,其靈敏度為K KH H1.2mV/mA.kGs 1.2mV/mA.kGs 把它放在把它放在一個梯度(一個梯度(dB/dxdB/dx)為)為5kGs/mm5kGs/mm的磁場中,如果額定控制電的磁場中,如果額定控制電流是流是20mA20mA,設(shè)霍爾元件在平衡點(diǎn)附近作,設(shè)霍爾元件在平衡點(diǎn)附近作 擺動,問輸出電壓可達(dá)多少毫伏?擺動,問輸出電壓可達(dá)多少毫伏?0.01mm