等離子清洗機

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1、等離子清洗機 等離子清洗機（plasmacleaner）也叫等離子清潔機，或者等離子 表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達到常規(guī)清 洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的 第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離 化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、 原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機 就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、 涂覆等目的。 等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做 物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。 等離

2、子體的”活性"組分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素 （亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組 分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。 等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài) 三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在， 如地球大 氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動 狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基） ； 離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保 持電中性狀態(tài)。 在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能 量的無序的等離子體，通過

3、等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面. 以達到清 洗目的. 優(yōu)勢 一、 清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理 即可送往下一道工序?？梢蕴岣哒麄€工藝流水線的處理效率； 二、 等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害， 同時 也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題； 三、避免使用三氯乙 烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清 洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越 發(fā)顯出它的重要性； 四、 采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線 不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼 和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)

4、，因此不需要過多考慮被清洗物體的形 狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至 更好； 五、 使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個 清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點； 六、 等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很 容易達到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用 價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工 藝； 七、 使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處 理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生； 八、 等離子體清洗可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材 質(zhì)，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚 氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以 使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。 而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進行部分清洗； 九、 在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。 如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非 常重要的。