《檢測技術(shù)固態(tài)圖像傳感器》由會員分享,可在線閱讀,更多相關(guān)《檢測技術(shù)固態(tài)圖像傳感器(12頁珍藏版)》請?jiān)谘b配圖網(wǎng)上搜索。
1、第14章 固態(tài)圖象傳感器 CCD(電荷耦合器件工作原理)n CCD是以陣列形式排列在襯底材料上的金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)電容器件組成,具有光生電荷、積蓄和轉(zhuǎn)移電荷功能。光線金屬P型硅勢阱一個(gè)勢阱所收集的光生電荷稱為一個(gè)“電荷包”。一個(gè)MOS光敏元稱為一個(gè)像素。在CCD器件是在半導(dǎo)體硅片上制作成百上千的規(guī)則排列的MOS光敏元,稱為光敏元陣列。 n CCD圖像傳感器n按像素的空間排列分為線陣CCD和面陣CCD。線陣CCD主要用于一維尺寸的自動(dòng)檢測,精度高。面陣CCD主要用于實(shí)時(shí)攝像 CCD的基本特征參數(shù)n 1.響應(yīng)度(光電轉(zhuǎn)換因子):指輸出的電信號與輸入的光信號能量之比:n 2.光譜特性:指器件
2、的響應(yīng)度n與入射光頻率或波長的關(guān)系。n 3.暗電流:CCD器件在沒有光n信號輸入時(shí),由MOS電容中的少數(shù)熱載流子形成的轉(zhuǎn)移電流。暗電流是判斷CCD器件的重要標(biāo)準(zhǔn)。n 4.分辨率:表示分辨圖像的能力,取決于光敏單元的間距,常用光敏單元數(shù)表示。 n檢測中CCD對被測圖像的分辨率取決于光敏單元的中心距、光學(xué)系統(tǒng)放大倍數(shù)及CCD光敏單元數(shù)。IkI 輸出電壓或電流,輸入光信號能量 n例:如果線陣CCD傳感器的光敏單元數(shù)為2048,相鄰光敏單元中心距為14um,光學(xué)系統(tǒng)放大倍數(shù)8,則光敏單元總長度為:n 204814um=28.672mmn CCD實(shí)際分辨率14um/8=1.75um。n最大被測物體尺寸D
3、由下式給出:L N pDDL Np 最大被測物尺寸最大成像尺寸光學(xué)系統(tǒng)放大倍數(shù)光敏單元數(shù)光敏單元中心距 n高速線陣CCD舉例n IL-P1-4096是加拿大DALSA公司生產(chǎn)的雙相高速線陣CCD 。n雙相輸出,每相輸出數(shù)據(jù)頻率為25MHz;n 線掃描速率為87kHz;n 像素尺寸10m10m;每行4096個(gè)像素點(diǎn);n IL-P1-4096可根據(jù)傳感器光敏單元(像素)上的感光變化,將對象圖像的感光變化轉(zhuǎn)化為電荷包。電荷包中電子的個(gè)數(shù)是由感光強(qiáng)度和CCD器件的光積分時(shí)間決定的。電荷包被收集到獨(dú)立的存儲井中,然后用像素復(fù)位時(shí)鐘來控制CCD器件的積分和曝光時(shí)間。 n CR1、CR2-輸出像素相位操作時(shí)
4、鐘。n RST-像素復(fù)位時(shí)鐘。n TCK是行轉(zhuǎn)移同步信號,可用來控制轉(zhuǎn)移柵。n PR曝光和積分時(shí)間控制信號在TCK的兩個(gè)高電平之間,可由PR來控制CCD的曝光和積分時(shí)間。n芯片工作過程:當(dāng)TCK的高電平到來時(shí),CCD的光敏單元將采集到的光信號轉(zhuǎn)移到相應(yīng)的移位單元中。光敏單元在PR積分控制信號的作用下重新開始感光積分,而進(jìn)入移位單元中的信號將在兩相操作時(shí)鐘CR1X、CR2X的作用下移出。 CCD圖像傳感器的應(yīng)用飛思卡爾杯智能車競賽作品CCD振動(dòng)測量系統(tǒng) 第15章 超聲波傳感器n又稱超聲波換能器或超聲波探頭,是一種聲-電轉(zhuǎn)換裝置。廣泛用于超聲波清洗、加工、超聲波檢測、探傷和測距等方面。n超聲波:(20KHz聲波)n超聲波在介質(zhì)中傳輸可產(chǎn)生三種振蕩波:n橫波(質(zhì)點(diǎn)振動(dòng)方向垂直于傳播方向)n縱波(質(zhì)點(diǎn)振動(dòng)方向同于傳播方向)n表面波(振動(dòng)方向介于縱波和橫波之間) n橫波只能在固體中傳播,縱波能在固、液、氣中傳播。表面波隨深度增加衰減迅速。 超聲波探頭n壓電式超聲波探頭最常用。n發(fā)射頭:(逆向壓電效應(yīng))n接收頭:(正向壓電效應(yīng)) 超聲波傳感器應(yīng)用n 1、超聲波無損探傷:利用超聲波在被檢材料中傳播時(shí),在缺陷處產(chǎn)生的折射、反射或衰減等,建立缺陷與超聲波強(qiáng)度、相位、頻率、衰減特性等間的相關(guān)關(guān)系,超聲探傷是目前最為廣泛的無損檢測方法。數(shù)字超聲波探傷儀超聲波探傷 n 2.超聲波測距3.超聲波清洗