硅片生產(chǎn)工藝.doc

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.硅片生產(chǎn)制造工藝流程1.切方磨圓將矽單晶圓棒按尺寸要求，切割成矽單晶準(zhǔn)方棒，并將切割后的準(zhǔn)方棒四角，用滾磨機(jī)磨圓。2.酸洗將檢測合格的矽單晶準(zhǔn)方棒放入配好的酸液中，除去表面雜質(zhì)，使其清潔便于下道工序。3.粘膠將清潔干凈的矽單晶準(zhǔn)方棒與工件板進(jìn)行粘接。4.切片將粘好的矽單晶準(zhǔn)方棒安裝在切片機(jī)的切割工位上，通過設(shè) 定好的工藝參數(shù)，將其切割成片。5.清洗脫膠將切割后的矽片進(jìn)行預(yù)清洗，除去表面附著的切削液等雜質(zhì)，并將預(yù)清洗后的矽片進(jìn)行脫膠。6.超聲波清洗將脫過膠的矽片插在矽片盒里并放入超聲波清洗機(jī)中進(jìn)行清洗。7.甩干將超聲波清洗后的矽片連盒插在甩干機(jī)的甩干工位上，通過離心和加熱將其表面甩干。8.檢片包裝對矽片進(jìn)行檢測，主要包括外觀、厚度、電阻率、TTV與翹曲度等，并將檢測后的矽片按等級和發(fā)貨類型進(jìn)行分類并包裝。 精選word范本！